опиÑывать
Â
ПоÑкольку Ñ‚ÐµÑ…Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ Ð¿Ñ€Ð¾Ð´Ð¾Ð»Ð¶Ð°ÐµÑ‚ обновлÑÑ‚ÑŒÑÑ Ð¸ ÑовершенÑтвоватьÑÑ, ее функции ÑтановÑÑ‚ÑÑ Ð²Ñе более Ñовершенными. Машины УФ-литографии различных моделей, Ñпецификаций и конфигураций могут удовлетворить потребноÑти различных отраÑлей, таких как производители полупроводников, иÑÑледовательÑкие инÑтитуты и Ñ‚. д. С развитием новых отраÑлей, таких как интеллектуальное производÑтво и иÑкуÑÑтвенный интеллект, машины УФ-литографии играют вÑе более важную роль. роль в ÑодейÑтвии технологичеÑкому прогреÑÑу и модернизации промышленноÑти.
ЯвлÑÑÑÑŒ выÑокотехнологичным производÑтвенным оборудованием, машина УФ-литографии обладает преимущеÑтвами точной обработки, Ñффективного производÑтва, ÑтабильноÑти и надежноÑти и Ñ‚. д. Она играет важную роль в повышении конкурентоÑпоÑобноÑти промышленноÑти и ÑодейÑтвии технологичеÑкому развитию. Ð’ будущем, Ð±Ð»Ð°Ð³Ð¾Ð´Ð°Ñ€Ñ Ð¿Ð¾ÑтоÑнному развитию технологий, машины Ð´Ð»Ñ Ð£Ð¤-литографии продолжат раÑкрывать Ñвой огромный потенциал и вноÑить вклад в развитие мировой выÑокотехнологичной отраÑли.
Â
ПреимущеÑтва фотолитографичеÑких машин, разработанных и производимых нашей компанией, по Ñравнению Ñ Ð°Ð½Ð°Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ð¼ отечеÑтвенным оборудованием:
Â
1. Разработка и изготовление Ð¾Ð±Ð¾Ñ€ÑƒÐ´Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð·Ð°Ð½Ð¸Ð¼Ð°ÐµÑ‚ много времени, имеет множеÑтво техничеÑких характериÑтик (в наÑтоÑщее Ð²Ñ€ÐµÐ¼Ñ ÐºÐ¾Ð¼Ð¿Ð°Ð½Ð¸Ñ Ñ€ÐµÐ³ÑƒÐ»Ñрно производит 25 видов готовой продукции) и накопила богатый опыт Ð¿Ñ€Ð¾ÐµÐºÑ‚Ð¸Ñ€Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¸ производÑтва: наша ÐºÐ¾Ð¼Ð¿Ð°Ð½Ð¸Ñ Ñпроектировала, изготовила и продала выÑокоточные фотолитографичеÑкие машины Ñами по Ñебе. Прошло более 20 лет.
2. За годы поÑтоÑнного ÑовершенÑÑ‚Ð²Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¼Ñ‹ Ñделали технологию Ð¾Ð±Ð¾Ñ€ÑƒÐ´Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð±Ð¾Ð»ÐµÐµ Ñовершенной, а его работу более Ñтабильной и надежной. Ðекоторые механизмы или ÑиÑтемы Ð¾Ð±Ð¾Ñ€ÑƒÐ´Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ ÑвлÑÑŽÑ‚ÑÑ Ð¾Ñ€Ð¸Ð³Ð¸Ð½Ð°Ð»ÑŒÐ½Ñ‹Ð¼Ð¸ нашей компании (многие аналогичные отечеÑтвенные уÑтройÑтва не ÑоответÑтвуют Ñтандартам или имеют неправильные функции). Конкретные показатели в Ñледующих облаÑÑ‚ÑÑ…:
(1) Что каÑаетÑÑ ÑиÑтемы механичеÑкого Ð²Ñ‹Ñ€Ð°Ð²Ð½Ð¸Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¸ региÑтрации:
Ð¢ÐµÑ…Ð½Ð¾Ð»Ð¾Ð³Ð¸Ñ Ð²Ð¾Ð·Ð´ÑƒÑˆÐ½Ð¾-плавающего Ð²Ñ‹Ñ€Ð°Ð²Ð½Ð¸Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¸ÑпользуетÑÑ Ð´Ð»Ñ Ð¾Ð±ÐµÑÐ¿ÐµÑ‡ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð¿Ñ€ÐµÐ²Ð¾Ñходных характериÑтик Ð²Ñ‹Ñ€Ð°Ð²Ð½Ð¸Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¾Ð±Ð¾Ñ€ÑƒÐ´Ð¾Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ. Он может Ñффективно компенÑировать плохой контакт плаÑтины, вызванный погрешноÑтью клина плаÑтины, ÑƒÐ»ÑƒÑ‡ÑˆÐ°Ñ Ð²Ð¸Ð´Ð¸Ð¼Ð¾ÑÑ‚ÑŒ линий и ÑƒÐ¼ÐµÐ½ÑŒÑˆÐ°Ñ Ñерьезные царапины на плаÑтине, вызванные чрезмерным выравнивающим уÑилием. , Кроме того: "контакт", "отрыв" оборудованиÑ, дрейф крайне мал, у Ð½Ð°Ñ ÐµÑÑ‚ÑŒ Ñ€Ñд мер по уменьшению дрейфа, а именно: плаÑтина не движетÑÑ, плаÑтина движетÑÑ, направление Ð´Ð²Ð¸Ð¶ÐµÐ½Ð¸Ñ Ñила компонентов регулировки X, Y, θ и направление ÑобÑтвенного веÑа ÑоглаÑованы; поÑледовательный;
Подъемное движение по оÑи Z предÑтавлÑет Ñобой шариковую линейную направлÑющую, ÐºÐ¾Ñ‚Ð¾Ñ€Ð°Ñ Ð¸Ñпользует движение Ñ Ð½Ð°Ñ‚Ñгом. При движении вверх и вниз отÑутÑтвует боковой зазор, что иÑключает боковой ÑноÑ; ПлаÑтина адÑорбируетÑÑ Ð¿Ð¾Ð´ рамкой плаÑтины, и когда она запечатана в вакууме, она не будет веÑти ÑÐµÐ±Ñ Ñ‚Ð°Ðº, как на рамке плаÑтины. Из-за «разницы площадей», возникающей во Ð²Ñ€ÐµÐ¼Ñ Ð²Ð°ÐºÑƒÑƒÐ¼Ð½Ð¾Ð¹ запайки, Ñила вверх больше, чем Ñила вниз, что вызывает большую деформацию плаÑтины и большую накопленную ошибку раÑÑтоÑÐ½Ð¸Ñ Ð¼ÐµÐ¶Ð´Ñƒ графикой;
а. ПлаÑтина фикÑируетÑÑ Ñ Ð¿Ð¾Ð¼Ð¾Ñ‰ÑŒÑŽ вакуумной адÑорбции, что не только удобно Ð´Ð»Ñ Ð·Ð°Ð³Ñ€ÑƒÐ·ÐºÐ¸ и разгрузки плаÑтины, но также гарантирует отÑутÑтвие бокового ÑÐ¼ÐµÑ‰ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð²Ð¾ Ð²Ñ€ÐµÐ¼Ñ ÐºÐ¾Ð½Ñ‚Ð°ÐºÑ‚Ð° и разделениÑ, что не только повышает точноÑÑ‚ÑŒ наложениÑ, но и значительно увеличивает ÑкороÑÑ‚ÑŒ наложениÑ. ;
б. ПоÑле Ð¿ÐµÑ€ÐµÐ²Ð¾Ñ€Ð°Ñ‡Ð¸Ð²Ð°Ð½Ð¸Ñ Ð¿Ð»Ð°Ñтинчатой ​​рамы Ñоединение Ñ ÐºÐ¾Ñ€Ð¿ÑƒÑом машины оÑущеÑтвлÑетÑÑ Ð²Ð°ÐºÑƒÑƒÐ¼Ð½Ð¾Ð¹ адÑорбцией. Когда плаÑтина находитÑÑ Ñверху, рама плаÑтины не ÑмещаетÑÑ Ð²Ð±Ð¾Ðº.
(2) С точки Ð·Ñ€ÐµÐ½Ð¸Ñ Ð½Ð°Ñтройки ÑиÑтемы наблюдениÑ:
МонокулÑрный микроÑкоп Ñ 1,6–10-кратным беÑÑтупенчатым зумом, подключенный к 19-дюймовому ЖК-диÑплею через ПЗС-камеру, Ñ Ð¾Ð±Ñ‰Ð¸Ð¼ увеличением 91–570 раз.
(3) Что каÑаетÑÑ ÑиÑтемы воздейÑтвиÑ:
РавномерноÑÑ‚ÑŒ Ñвета хорошаÑ, в диапазоне Ф100 мм, неравномерноÑÑ‚ÑŒ Ñвета меньше или равна ± 3%, Ñрок Ñлужбы длительный (нормальный Ñрок Ñлужбы Ñветодиодного иÑточника ультрафиолетового Ñвета ÑоÑтавлÑет не менее 20,{{ 3 чаÑа). Стойка Ð´Ð»Ñ Ñ‚Ð°Ñ€ÐµÐ»Ð¾Ðº Ñовершает поворотное движение отноÑительно Ñтола Ñ Ð¿Ð»ÐµÐ½ÐºÐ¾Ð¹: во-первых, она удобна Ð´Ð»Ñ Ð·Ð°Ð³Ñ€ÑƒÐ·ÐºÐ¸ и выгрузки пленки. Во-вторых, пленку и плаÑтину легко очиÑтить азотом или шариком Ð´Ð»Ñ Ñ‡Ð¸Ñтки ушей. Рама плаÑтины фикÑируетÑÑ Ð¼ÐµÑ‚Ð¾Ð´Ð¾Ð¼ вакуумной адÑорбции, что не только уменьшает «дрейф», но и облегчает работу.
Â
http://ru.hongenaligner.net/